Галлий и мышьяк особой степени чистоты

Переработка вторичных галлий-содержащих отходов (отходы полупроводникового производства) с выделением галлия и мышьяка различных марок.

Для переработки принимаются:

• отходы галлия (ГО), в т. ч. отходы галлия с процессов жидкофазной эпитаксии структур типа ЭСАГА (нефильтрованные);
• отходы процессов синтеза и роста монокристаллов, содержащие GaAs;
• отходы процессов синтеза и роста монокристаллов, содержащие GaР;
• отходы процессов резки и калибровки пластин монокристаллов GaAs (шлифотходы);
• отходы процессов резки и калибровки пластин монокристаллов GaР (шлифотходы);
• отходы жидкофазной эпитаксии структур, содержащие твердые растворы на основе GaAs с содержанием фосфора не более 1.5 % мас.

Конечными продуктами переработки являются:

• галлий технический, не подвергаемый переработке и поставляемый заказчику без дополнительной очистки;
• галлий марки 4N с суммарным содержанием нормируемых элементов примесей не более 1х10^-2 % мас;
• галлий марки 6N с суммарным содержанием нормируемых элементов примесей не более 1х10^-4% мас;
• технический мышьяк, не подвергаемый переработке после извлечения и поставляемый без дополнительной очистки;
• мышьяк марки 4N и 6N (для галлия марок 4N и 6N производится дополнительная очистка от элемента примеси германия до уровня не более 1х10^-5 %мас).

Производственное предприятие

ОАО «НИИ материалов электронной техники»