Галлий и мышьяк особой степени чистоты
Переработка вторичных галлий-содержащих отходов (отходы полупроводникового производства) с выделением галлия и мышьяка различных марок.
Для переработки принимаются:
- отходы галлия (ГО), в т. ч. отходы галлия с процессов жидкофазной эпитаксии структур типа ЭСАГА (нефильтрованные);
- отходы процессов синтеза и роста монокристаллов, содержащие GaAs;
- отходы процессов синтеза и роста монокристаллов, содержащие GaР;
- отходы процессов резки и калибровки пластин монокристаллов GaAs (шлифотходы);
- отходы процессов резки и калибровки пластин монокристаллов GaР (шлифотходы);
- отходы жидкофазной эпитаксии структур, содержащие твердые растворы на основе GaAs с содержанием фосфора не более 1.5 % мас.
Конечными продуктами переработки являются:
- галлий технический, не подвергаемый переработке и поставляемый заказчику без дополнительной очистки;
- галлий марки 4N с суммарным содержанием нормируемых элементов примесей не более 1х10-2 % мас;
- галлий марки 6N с суммарным содержанием нормируемых элементов примесей не более 1х10-4% мас;
- технический мышьяк, не подвергаемый переработке после извлечения и поставляемый без дополнительной очистки;
- мышьяк марки 4N и 6N (для галлия марок 4N и 6N производится дополнительная очистка от элемента примеси германия до уровня не более 1х10-5 %мас).
Производственное предприятие
ОАО «НИИ материалов электронной техники»
|